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11月16日,江蘇達安光電有限公司對我司生產的RTP-1100快速退火爐驗收完畢。
來源:上海鉅晶精密儀器制造有限公司 作者:siomm 時間:2017-11-16
我司設計生產的RTP-1100快速退火爐,采用進口紅外線加熱管加熱,造型新穎結構合理,爐體和爐管可以自由滑動,可實現快速升降溫。爐管內尺寸130MM,可以直接放下5英寸的材料。試樣反應區處在一個密閉的石英腔體內,在完成生產工藝的同時,也大大降低了間接污染試樣的可能性;密封法蘭之間采用O型圈密封,以及卡箍快速鏈接,能有效地保證爐內氣密性;當爐管移出爐膛時冷確風扇啟動,可實現試樣的迅速降溫,滿足材料驟冷驟熱的實驗要求;它主要適用于半導體器件研發及生產等領域,可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火,氧化物生長以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。 設備的性能符合客戶的使用要求,我們的售后工程師于11月16日上門安裝調試培訓完畢,設備順利通過江蘇達安光電有限公司的驗收。 |