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氮化鋁陶瓷氫氣還原燒結(jié)設(shè)備(2000℃)
關(guān) 鍵 詞:氮化鋁,半導(dǎo)體,氧化鋁,蝕刻機(jī),濕氫,氫氣還原,高溫?zé)Y(jié),真空爐,氫氣爐

型       號(hào):SWSL-2000 Φ450*400mm (2309951)
品       牌:上海鉅晶
發(fā)貨周期:1-4個(gè)月
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一、應(yīng)用行業(yè)工藝信息

1、主要信息:

 

工藝名稱(chēng)

   真空氣氛燒結(jié)

應(yīng)用行業(yè)

半導(dǎo)體

工藝目的

氮化鋁陶瓷高溫?zé)Y(jié),達(dá)到導(dǎo)熱率,提高電阻率

材料(零件)名稱(chēng)

氮化鋁

工藝最高溫度

1850

材料(零件)尺寸

     6-8英寸

工藝極限真空

6.67*10-1Pa

溶液(堆積)密度


工藝氣體

氮?dú)狻鍤?/span>、氫氣

一次性處理量

60KG

揮發(fā)物

無(wú)

取放料方式


氫氣



關(guān)注重點(diǎn)和注意事項(xiàng)

1.氫氣安全監(jiān)測(cè)



 

2、客戶工藝流程圖/工藝流程步驟

 

二、設(shè)備主要用途及優(yōu)點(diǎn)

1、 主要用途:主要用于氮化鋁高溫?zé)Y(jié),通純氫氣或者氮?dú)浠旌?/span>

2、 主要優(yōu)點(diǎn)或特點(diǎn): 

、工藝滿足性:根據(jù)客戶工藝要求,真空或者氣氛下高溫?zé)Y(jié)可通純氫氣,氫氣尾氣燃燒、氫氣實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),安全可靠,既能滿足客戶工藝需求又能節(jié)儉成本和使用空間。

、設(shè)備安全性:

A、 設(shè)備安全:設(shè)有系統(tǒng)監(jiān)控畫(huà)面、故障處理畫(huà)面及幫助界面等,系統(tǒng)在運(yùn)行中的各種數(shù)據(jù)能夠隨時(shí)查看、記錄并打印。面板上的紅色閃光指示燈用來(lái)顯示各種報(bào)警功能,操作者根據(jù)提示可以立刻判斷出報(bào)警的位置并處理。

B、監(jiān)測(cè)安全:配有安全聯(lián)鎖保護(hù)功能,具有超溫?cái)嚯娀虮3?/span>,停水?dāng)嚯?延時(shí)停止加熱、真空泵等),充氣的壓力保護(hù)及真空壓力保護(hù)等。

C、第三方檢測(cè):可根據(jù)客戶要求提供儀表、熱偶、電氣部件等質(zhì)量保證文件,第三方計(jì)量鑒定等

、自動(dòng)化程度:設(shè)備自動(dòng)化程度高,一人即可完成生產(chǎn)作業(yè),可根據(jù)工藝設(shè)定程序自運(yùn)行和安全互鎖等功能;

、質(zhì)量等級(jí):按優(yōu)質(zhì)設(shè)備配置,外形美觀,結(jié)構(gòu)合理,性能穩(wěn)定可靠,使用壽命長(zhǎng),維護(hù)保養(yǎng)方便,相關(guān)電氣配件采用進(jìn)口或國(guó)內(nèi)一線品牌;

、穩(wěn)定性和維護(hù):設(shè)備的加熱、真空、氣路,控制系統(tǒng)等是模塊化集成設(shè)計(jì),便于維護(hù)和更換。

、節(jié)能降耗生產(chǎn)效率:結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定。 

 


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