一、應(yīng)用行業(yè)工藝信息
1、主要信息:
工藝名稱(chēng) | 真空氣氛燒結(jié) | 應(yīng)用行業(yè) | 半導(dǎo)體 |
工藝目的 | 氮化鋁陶瓷高溫?zé)Y(jié),達(dá)到導(dǎo)熱率,提高電阻率 | 材料(零件)名稱(chēng) | 氮化鋁 |
工藝最高溫度 | 1850℃ | 材料(零件)尺寸 | 6-8英寸 |
工藝極限真空 | 6.67*10-1Pa | 溶液(堆積)密度 | |
工藝氣體 | 氮?dú)狻鍤?/span>、氫氣 | 一次性處理量 | 60KG |
揮發(fā)物 | 無(wú) | 取放料方式 | |
尾 氣 | 氫氣 | ||
關(guān)注重點(diǎn)和注意事項(xiàng) | |||
1.氫氣安全監(jiān)測(cè) | |||
2、客戶工藝流程圖/工藝流程步驟
二、設(shè)備主要用途及優(yōu)點(diǎn)
1、 主要用途:主要用于氮化鋁高溫?zé)Y(jié),通純氫氣或者氮?dú)浠旌?/span>
2、 主要優(yōu)點(diǎn)或特點(diǎn):
①、工藝滿足性:根據(jù)客戶工藝要求,真空或者氣氛下高溫?zé)Y(jié),可通純氫氣,氫氣尾氣燃燒、氫氣實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),安全可靠,既能滿足客戶工藝需求又能節(jié)儉成本和使用空間。
②、設(shè)備安全性:
A、 設(shè)備安全:設(shè)有系統(tǒng)監(jiān)控畫(huà)面、故障處理畫(huà)面及幫助界面等,系統(tǒng)在運(yùn)行中的各種數(shù)據(jù)能夠隨時(shí)查看、記錄并打印。面板上的紅色閃光指示燈用來(lái)顯示各種報(bào)警功能,操作者根據(jù)提示可以立刻判斷出報(bào)警的位置并處理。
B、監(jiān)測(cè)安全:配有安全聯(lián)鎖保護(hù)功能,具有超溫?cái)嚯娀虮3?/span>,停水?dāng)嚯?延時(shí)停止加熱、真空泵等),充氣的壓力保護(hù)及真空壓力保護(hù)等。
C、第三方檢測(cè):可根據(jù)客戶要求提供儀表、熱偶、電氣部件等質(zhì)量保證文件,第三方計(jì)量鑒定等
③、自動(dòng)化程度:設(shè)備自動(dòng)化程度高,一人即可完成生產(chǎn)作業(yè),可根據(jù)工藝設(shè)定程序自運(yùn)行和安全互鎖等功能;
④、質(zhì)量等級(jí):按優(yōu)質(zhì)設(shè)備配置,外形美觀,結(jié)構(gòu)合理,性能穩(wěn)定可靠,使用壽命長(zhǎng),維護(hù)保養(yǎng)方便,相關(guān)電氣配件采用進(jìn)口或國(guó)內(nèi)一線品牌;
⑤、穩(wěn)定性和維護(hù):設(shè)備的加熱、真空、氣路,控制系統(tǒng)等是模塊化集成設(shè)計(jì),便于維護(hù)和更換。
⑥、節(jié)能降耗生產(chǎn)效率:結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定。