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30Kg一氧化硅負極材料氣相反應設備(1500℃)
關 鍵 詞:一氧化硅,二氧化硅,氣相反應,氣相沉積,負極材料

型       號:2201801
品       牌:上海鉅晶
發貨周期:1-4個月
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一、應用行業工藝信息

1、主要信息:

工藝名稱

氣相沉積法制備一氧化硅

應用行業

新能源電池

工藝目的

一氧化硅

材料(零件)名稱

硅粉末和氧化硅粉末

工藝最高溫度

1350度

材料(零件)尺寸


工藝極限真空

100pa

溶液(堆積)密度


工藝氣體

氮氣

一次性處理量

30kg

揮發物

一氧化硅

取放料方式

坩堝

集中排放



關注重點和注意事項





 

 


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